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NR9 1500P光刻胶公司询价咨询 北京赛米莱德

发布时间:2022-07-04 09:28:45        







北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,NR9i-3000PY有下面的优势: 1. 比较高的光刻速度,可以定制光刻速度来***产量 2. 比较高的分辨率和快的显影时间 3. 根据***能量可以比较容易的调整侧壁角度 4. 耐温可以达到100摄氏度 5. 用RR5去胶液可以很容易的去胶 NR9-3000PY的制作和工艺是根据职业和环境的安全而设计。该技术的引入,可明显减小光刻胶表面对入射光的反射和散射,从而改善光刻胶的分辨率性能,但由此将引起工艺复杂性和光刻成本的增加。

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芯片光刻的流程详解(二)

所谓光刻,根据维基百科的定义,这是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用***和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。国内企业的光刻胶产品目前还主要用于PCB领域,代表企业有晶瑞股份、科华微电子。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。

光刻的基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。




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光刻胶底膜处理:清洗:清洁干燥,使硅片与光刻胶良好的接触。四、前烘(SoftBake)完成光刻胶的涂抹之后,需要进行软烘干操作,这一步骤也被称为前烘。烘干:去除衬底表面的水汽,使其彻底干燥,增粘处理(涂底) 涂上增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物,HMDS,光刻胶疏水,Sio2 空气中,Si-OH, 表面有,亲水性,使用HMDS H2C6Si2NH 涂覆,熏蒸  SI –OH结合形成Si-O-Si(CH2)2,与光刻胶相亲。


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表征光刻胶特性和性能、质量的参数有以下三个:
(1)光学性质。正胶PR1-2000A1技术资料正胶PR1-2000A1是为***波长为365或者436纳米,可用于晶圆步进器、扫描投影对准器、近程打印机和接触式打印机等工具。光刻胶的光学性质包括光敏度和折射率。
(2)力学特性和化学特性。光刻胶的力学特性和化学特性包括胶的固溶度、黏滞度、黏着度、抗蚀(刻蚀、腐蚀)性、热稳定性、流动性和对环境气氛(如氧气)的敏感度。
(3)其他特性。光刻胶的其他特性包括胶的纯度、胶内的金属含量、胶的可应用范围、胶的储存有效期和胶的燃点。


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